Optische Messtechnik für hochpräzise 3D-Oberflächencharakterisierung

Interferometrische Messtechniken zählen zu den präzisesten Verfahren der optischen Oberflächencharakterisierung. Ihr industrieller Einsatz wird jedoch häufig durch mechanische Störungen und Umgebungsbedingungen limitiert. Der Beitrag zeigt, wie durch eine zusätzliche synchrone interferometrische Referenzmessung Störungen während der Messung erfasst und kompensiert werden können. Anhand experimenteller Ergebnisse wird gezeigt, wie optische Messtechnik den Weg von der vibrationsisolierten Laboranwendung hin zur produktionsnahen Präzisionsmesstechnik ermöglicht.